深圳市奈良机工贸易有限公司
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规格参数:
型 号 | VPC-260F |
真空性能 | 极限压力 | 1.3 × 10-3Pa 6.6 × 10-4Pa (使用液氮时) |
排气时间 | 4.0 × 10-3Pa/20min 1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮时) |
真空舱 | 钟罩尺寸 | 玻璃钟罩 (直径300mm × 300mm(H)) |
馈通圈 | 8个端口(8侧面) |
标准基板��最大尺寸※1 | □50mm �� □140mm(最大) |
供电系统 | 蒸发电极结构 | 1点式 |
蒸发电源 | SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大) |
排气系统 | 主泵 | 油扩散泵(气冷) 200 L/sec |
液氮冷阱 | 有 |
前级泵 | 油旋片真空泵 100 L/min |
油雾过滤器 | 可选 |
操作系统 | 主阀门 | 瓣阀 |
副阀门 | 三向切换阀 |
自动渗漏阀 | 可选 |
控制 | 手动控制 |
控制系统 | 皮拉尼真空计 | 可选 |
电离真空计 | 可选 |
外形 | 尺寸(主体) | 530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H) |
尺寸(蒸发电源) | 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) |
重量(主体) | 75kg |
重量(蒸发电源) | 40kg |
特性:
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。
应用:
1. 带脚轮,容易移动的排气装置。
2. 通过玻璃钟罩可看到内部,操作性能良好。
3. 不会使主泵停止运转,可以对真空槽进行开放。
4. 通过蒸发电源和电极的追加,实现同时蒸镀和多层蒸镀。
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