深圳市奈良机工贸易有限公司

型号		VPC-260F
真空性能	极限压力	1.3 × 10^-3Pa 6.6 × 10^-4Pa (使用液氮时)
真空性能	排气时间	4.0 × 10^-3Pa/20min 1.3 × 10^-3Pa/20min (使用液氮时)
真空舱	钟罩尺寸	玻璃钟罩（直径300mm × 300mm(H))
	馈通圈	8个端口（8侧面）
	标准基板��最大尺寸^※1	□50mm �� □140mm（最大）
供电系统	蒸发电极结构	1点式
供电系统	蒸发电源	SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大)
排气系统	主泵	油扩散泵（气冷） 200 L/sec
	液氮冷阱	有
	前级泵	油旋片真空泵 100 L/min
	油雾过滤器	可选
操作系统	主阀门	瓣阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	皮拉尼真空计	可选
控制系统	电离真空计	可选
外形	尺寸（主体）	530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)
	尺寸（蒸发电源）	480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
	重量（主体）	75kg
	重量（蒸发电源）	40kg

特性：

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。

应用：

1. 带脚轮，容易移动的排气装置。
2. 通过玻璃钟罩可看到内部，操作性能良好。
3. 不会使主泵停止运转，可以对真空槽进行开放。
4. 通过蒸发电源和电极的追加，实现同时蒸镀和多层蒸镀。

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